MSD Series Sputtering Power Supply
Features
● Rack ynstallaasje
● Fast arc antwurd, antwurd tiid <100ns
● Bottom enerzjy opslach, <1mJ/kW
● Kompakte ynstallaasjestruktuer, 3U standert chassis
● Sineesk / Ingelsk display ynterface, maklik te betsjinjen
● Precise kontrôle
● Breed oanbod fan útfier
● Perfect beskerming funksje
Produkt Detail
Ynfier | Ynfierspanning: 3AC380V±10% |
Krêft: 20kW, 30 kWInput krêftfrekwinsje: 50Hz/60Hz | |
Utfier | Max.output voltage: 800V |
Max.útfierstroom: 50A, 75A | |
Utfierstromrimpel: ≤3% rms | |
Output Voltage Ripple: ≤2% rms | |
Technyske yndeks | Ignition voltage: 1000V / 1200V opsjoneel |
Konverzje-effisjinsje: 95% | |
Arc off tiid: <100ns | |
Kommunikaasje-ynterface: Standert RS485 / RS232 (PROFIBUS, PROFINET, DeviceNet en EtherCAT binne opsjoneel) | |
Ofmjittings (H*W*D)mm: 132*482*560: 176*482*700 | |
Cooling modus: lucht cooling | |
Opmerking: it produkt bliuwt ynnovearje en de prestaasjes bliuwt ferbetterje.Dizze parameterbeskriuwing is allinich foar referinsje. |
Skriuw jo berjocht hjir en stjoer it nei ús